聚焦陶瓷、石英、硅三大方向,为半导体工艺设备提供关键腔室零部件国产化替代解决方案。
聚焦半导体腔室关键零部件国产化替代,以精密制造为基础,为每一位客户提供可靠的材料解决方案。
陶瓷、石英、硅三大材料方向深度布局,满足刻蚀、CVD、PVD、扩散等主流半导体工艺的腔室零件需求。
专注打破进口垄断,提供与进口品质相当的国产零件,助力国内半导体产业链自主可控。
对材料纯度、气泡夹杂物和表面金属颗粒污染实行严格管控,满足先进制程工艺的最高洁净度要求。
除标准产品外,可根据客户设备型号和工艺参数定制加工,提供从需求沟通到交付验收的全程技术支持。
圆芯围绕陶瓷、石英、硅三大核心材料,构建了完整的半导体腔室零件制造技术体系, 覆盖等离子体耐久性、高纯度管控、精密成型等关键技术能力。