高新技术企业 · 陶瓷 / 石英 / 硅 三大材料方向

半导体腔室零件
国产化替代首选

浙江圆芯半导体材料有限公司,专注陶瓷、石英、硅三大材料关键零部件的研发与生产, 覆盖刻蚀、CVD、PVD、扩散等主流半导体工艺设备全场景解决方案。

3 核心材料方向
8+ 可加工特种材质
4+ 主流工艺设备覆盖
国高企 高新技术企业认定
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三大核心材料系列

聚焦陶瓷、石英、硅三大方向,为半导体工艺设备提供关键腔室零部件国产化替代解决方案。

陶瓷腔室盖
陶瓷材料 · Ceramic

陶瓷腔室关键零件

腔室盖、遮掩环/衬环、圆顶、喷嘴、机械手等,适用于刻蚀、CVD、离子注入、原子层沉积等工艺。

高抗等离子 介电强度优 耐腐蚀
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石英刻蚀件
石英材料 · Quartz

石英腔室关键零件

刻蚀石英件、外延钟罩/衬环、扩散石英炉管/舟/保温桶等,适用于刻蚀、外延、扩散、RTP工艺设备。

超高纯度 抗高温变形 低金属污染
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硅材料零件
硅材料 · Silicon

硅材料腔室关键零件

喷淋头电极、多晶排气扇/环、单晶硅环等,适用于刻蚀、外延等半导体设备,超高纯度极低金属污染。

≥99.9999%纯度 耐等离子 先进制程
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为什么选择圆芯

聚焦半导体腔室关键零部件国产化替代,以精密制造为基础,为每一位客户提供可靠的材料解决方案。

三大材料全覆盖

陶瓷、石英、硅三大材料方向深度布局,满足刻蚀、CVD、PVD、扩散等主流半导体工艺的腔室零件需求。

国产化替代

专注打破进口垄断,提供与进口品质相当的国产零件,助力国内半导体产业链自主可控。

品质严格管控

对材料纯度、气泡夹杂物和表面金属颗粒污染实行严格管控,满足先进制程工艺的最高洁净度要求。

定制化服务

除标准产品外,可根据客户设备型号和工艺参数定制加工,提供从需求沟通到交付验收的全程技术支持。

核心技术能力

千级洁净室
Cleanroom
千级洁净室 - 精密制造环境

三大材料方向技术体系

圆芯围绕陶瓷、石英、硅三大核心材料,构建了完整的半导体腔室零件制造技术体系, 覆盖等离子体耐久性、高纯度管控、精密成型等关键技术能力。

🏺
陶瓷材料精密成型
高抗等离子体性、优异介电强度,支持ARC铝熔射涂层
💎
石英超高纯度加工
严格管控气泡夹杂物和金属污染,满足先进制程要求
硅材料极低金属污染
单晶/多晶硅纯度≥99.9999%,适用先进制程节点
🔧
多材质定制加工
蓝宝石、氮化铝、碳化硅、PEEK 等8种以上特种材质

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